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電気専門用語集（WEB版）





用語集No.：　25

用語番号6.2.3
用語プラズマスパッタリング
読みぷらずますぱったりんぐ
英語plasma sputtering
定義プラズマが固体表面と接するところではシースが形成され、これにより生じた電界はイオンを加速する。このイオンが固体表面に衝突すると、表面の原子に運動量を与え、原子が放出されるのがスパッタリングである。
備考スパッタリングは、表面を微細に加工するスパッタエッチング、スパッタされて飛び出した原子を基板上に堆積させるスパッタデポジション、イオンの衝突で固体表面を洗浄するスパッタ洗浄などの応用に利用される。

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