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電気専門用語集（WEB版）





用語集No.：　25

用語番号6.1.9
用語Langmuirプローブ
読みLangmuirぷろーぶ
英語Langmuir probe
定義微小な電極に加えたバイアス電圧を変化させたとき、電極電圧と電極に流れ込む電子電流とイオン電流との関係から、プラズマの密度、電子温度が測定できる静電探針。
備考低密度プラズマの電子数密度、電子温度の測定に使われ、2本の電極を有するダブルプローブ、プラズマ内には1本の電極を入れるだけのシングルプローブ等がある。

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