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電気専門用語集（WEB版）

用語集No.：　25 用語番号 6.1.24 用語 非平衡プラズマ 読み ひへいこうぷらずま 英語 non-equilibrium plasma 定義 質量が小さい電子は電界で容易に加速されるため、電子温度はイオン温度に比べて高くなる。両者の温度が著しく異なり、電子とイオンが熱平衡の状態になっていないプラズマ。低気圧放電によるプラズマで生じやすい。 備考 グロー放電など弱電離プラズマやMHDプラズマは非平衡状態にある場合が多い。電子エネルギーが高いのでプラズマプロセスやプラズマを用いたエッチングなど、微細加工への応用に重要である。

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