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電気専門用語集（WEB版）





用語集No.：　25

用語番号6.1.15
用語シース
読みしーす
英語sheath
定義プラズマと接する固体表面が負に帯電するために形成される、電子密度に比べてイオン密度が高い、イオンを主体とする空間電荷領域。その厚さはDebye長程度である。
備考シース中では電界が生じるのでイオンは加速され、スパッタリング、プラズマエッチング等のプラズマプロセスに応用されている。物理的なイメージから鞘（さや）とも呼ばれる。

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