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電気専門用語集（WEB版）

用語集No.：　2 用語番号 4.17 用語 拡散炉 読み かくさんろ 英語 diffusion furnace 定義 シリコンやゲルマニウムなどを加熱することによって酸化被膜を生成させたり、不純物を熱拡散させて半導体を生成させる炉。 備考

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