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電気専門用語集（WEB版）

用語集No.：　25 用語番号 2.7.3 用語 高周波放電プラズマ 読み こうしゅうはほうでんぷらずま 英語 radio-frequency discharge plasma 定義 高周波電磁界を加えてイオンや電子を加速してエネルギーを供給し、電離を進展させる放電で発生するプラズマ。 備考 容量結合で電極を用いる場合は図12（a）、誘導結合で無電極放電させる場合は図12（b）である。 ［図012]

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