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電気専門用語集（WEB版）





用語集No.：　2

用語番号10.22
用語電子ビーム蒸着
読みでんしびーむじょうちゃく
英語electron beam vapor deposition
定義電子ビーム加熱を利用して材料を蒸発させ基板に付着させること。
備考

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