電気学会
電気規格調査会
電気専門用語集の販売サイト
電気専門用語集(WEB版)
用語集No.: 2
用語番号
10.22
用語
電子ビーム蒸着
読み
でんしびーむじょうちゃく
英語
electron beam vapor deposition
定義
電子ビーム加熱を利用して材料を蒸発させ基板に付着させること。
備考
このページではインラインフレームを使用しています。
電気専門用語集についてのご意見ご要望は
標準化推進室
までお願いします。
c 2017
一般社団法人 電気学会