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電気専門用語集(WEB版)
用語集No.: 2
用語番号
10.18
用語
電子ビーム観測装置
読み
でんしびーむかんそくそうち
英語
electron beam viewing apparatus
定義
ワークの表面での電子ビームの状態を観測するための装置。
備考
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