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電気専門用語集(WEB版)
用語集No.: 2
用語番号
10.03
用語
集束距離
読み
しゅうそくきょり
英語
focus distance
定義
電子ビームの軸上で、対物用集束レンズの主面から電子ビームが最小径に集束されるところまでの距離。
備考
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